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3 Poly蝕刻步驟如何Monitor? 試說明其Monitor項目及方法

 Poly蝕刻步驟如何Monitor? 試說明其Monitor項目及方法

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2 个回答

icbee - 半导体制程整合工程师
擅长:制程整合工程师

(1) Break etch: E/R on Si and SiO2, Particle。

(2) Main etch: E/R on Si and PR for main Poly etching, particle, E/P.

(3) Over etch: E/R on Si and SiO2 for poly over-etching 

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周波 - RD
擅长:半导体蚀刻设备

见过这张图的举手看看!

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  • admin 提出于 2018-08-25 10:25

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