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Poly蝕刻步驟如何Monitor? 試說明其Monitor項目及方法

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2 个回答

周波 - RD 2019-02-22 21:24

擅长：半导体蚀刻设备

见过这张图的举手看看！

icbee - 半导体制程整合工程师 2018-08-25 11:46

擅长：制程整合工程师

(1) Break etch: E/R on Si and SiO2, Particle。

(2) Main etch: E/R on Si and PR for main Poly etching, particle, E/P.

(3) Over etch: E/R on Si and SiO2 for poly over-etching