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5 目前Wet bench dry方法?

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1 个回答

admin - 工程师
擅长:制程整合工程师

目前Wet bench dry方法: 9 O$ p2 l4 }- Z/ U
答:(1) Spin Dryer (2) Marangoni dry (3) IPA Vapor Dry : x! r; K5 U, C1 X
何谓 Spin Dryer
答:利用离心力将晶圆表面的水份去除
何谓 Maragoni Dryer 8 u' v7 N5 H/ b' y) F
答:利用表面张力将晶圆表面的水份去除
何谓 IPA Vapor Dryer
答:利用IPA(异丙醇)和水共溶原理将晶圆表面的水份去除-

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  • icbee 提出于 2018-08-25 12:17

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