目前Wet bench dry方法: 9
O$ p2 l4 }- Z/ U
答：(1) Spin Dryer (2)
Marangoni dry (3) IPA Vapor Dry : x! r; K5 U, C1 X
何谓 Spin Dryer
答：利用离心力将晶圆表面的水份去除
何谓 Maragoni Dryer 8
u' v7 N5 H/ b' y) F
答：利用表面张力将晶圆表面的水份去除
何谓 IPA Vapor Dryer
答：利用IPA(异丙醇)和水共溶原理将晶圆表面的水份去除-
1 个回答
擅长：制程整合工程师
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