Wafer 下线的第一道步骤是形成 start oxide 和 zero layer？ 其中 start oxide 的目的是为何？
1. 不希望有机成分的光刻胶直接碰触Si 表面；
2. 在laser 刻号过程中，亦可避免被产生的粉尘污染。
为何需要zero layer？
芯片的工艺由许多不同层次堆栈而成的，各个层次之间以zero layer当作对准的基准。
Laser Mark是什么用途？Wafer ID又代表什么意义？
Laser Mark是用来刻wafer ID，wafer ID就如同硅片的身份证一样，一个ID 代表一片硅片的身份。