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芯片制造中为什么需要Zero layer ,为什么需要Laser Mark?

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1 个回答

Fab10年 - 半导体芯片工艺工程师

Wafer 下线的第一道步骤是形成 start oxide 和 zero layer? 其中 start oxide 的目的是为何?

1. 不希望有机成分的光刻胶直接碰触Si 表面;

2. 在laser 刻号过程中,亦可避免被产生的粉尘污染。

为何需要zero layer?

芯片的工艺由许多不同层次堆栈而成的,各个层次之间以zero layer当作对准的基准。

Laser Mark是什么用途?Wafer ID又代表什么意义?

Laser Mark是用来刻wafer ID,wafer ID就如同硅片的身份证一样,一个ID 代表一片硅片的身份。


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  • 周波 提出于 2018-10-29 21:10

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