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3 什么是Kooi Effect?

什么是半导体中的Kooi Effect?形成机理是什么 ?

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1 个回答

icbee - 半导体制程整合工程师
擅长:制程整合工程师

Kooi Effect,俗称白带效应(White Ribben Effect),Kooi这个人发现我们的LOCOS长完之后用H3PO4 remove SiN之后会在鸟嘴的边缘沿着鸟嘴有一条白边,后来证明这是SiN。那这层SiN怎么产生的呢?为啥跑到PAD OX下面去了(所以H3PO4去不掉)?

Kooi的解释是,LOCOS氧化过程中的H2O与SiN反应生成了NH3,而这个NH3在高温下穿透了PAD OX,进入到衬底的Si表面与硅反应生成了SiN。那为啥容易在FOX两边的edge呢?因为这里的应力大,比较容易穿透过去。而这层SiN最后还是把它去除掉的,否则会导致GOI fail的,所以你们的flow里面有一个叫做牺牲氧化层(Sacrificial OXide),就是为了去除这个Kooi effect的。

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  • 周波 提出于 2018-10-14 07:36

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