Kooi Effect，俗称白带效应(White Ribben Effect)，Kooi这个人发现我们的LOCOS长完之后用H3PO4 remove SiN之后会在鸟嘴的边缘沿着鸟嘴有一条白边，后来证明这是SiN。那这层SiN怎么产生的呢？为啥跑到PAD OX下面去了(所以H3PO4去不掉)？
Kooi的解释是，LOCOS氧化过程中的H2O与SiN反应生成了NH3，而这个NH3在高温下穿透了PAD OX，进入到衬底的Si表面与硅反应生成了SiN。那为啥容易在FOX两边的edge呢？因为这里的应力大，比较容易穿透过去。而这层SiN最后还是把它去除掉的，否则会导致GOI fail的，所以你们的flow里面有一个叫做牺牲氧化层(Sacrificial OXide)，就是为了去除这个Kooi effect的。
