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何谓蚀刻(Etch)? 答:将形成在晶圆表面上的薄膜全部,或特定处所去除至必要厚度的制程。 蚀刻种类? 答:1、干蚀刻 2、湿蚀刻。 蚀刻对象依薄膜种类可分为? 答:poly,oxide,metal 何谓dielectric蚀刻(介电质蚀刻)? 答:Oxide etch and nitride etch 半导体中一般介电质材质为何? 答:氧化硅/氮化硅 何谓湿...
回答于 2018-10-14 08:23
由于二氧化硅(SiO2)具有易制性 (Manufacturability),且能减少厚度以持续改善晶体管效能,因此过去40余年来,处理器厂商均采用二氧化硅做为制作栅极电介质的材料。。 High-K究竟是什么神奇的技术?这要从处理器的制造原料说起。 由于二氧化硅(SiO2)具有易制性 (Manufacturability),且能减少厚度以持续改善晶体管效...
回答于 2018-09-01 18:15
半导体主要有三个特性,即光敏特性.热敏特性和掺杂特性。所谓光敏特性是指某些半导体受到强烈光芒照射时,其导电性能大大增强;光芒移开后,其导电性能大大减弱。所谓热敏特性是指外界环境温度升高时,半导体的导电性能也随着温度的升高而增强。所谓掺杂特性是指在纯净的半导体中,如果掺入极微量的杂质可使其导电性能剧增...
回答于 2018-08-25 12:14