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FD-SOI到底是什么?

来源:全球半导体观察 当半导体工艺制程发展到22纳米时,为了满足性能、成本和功耗要求,延伸发展出来FinFET和FD-SOI两种技术。由于半导体龙头厂商英特尔主导推广FinFET技术,并得到晶圆代工大...

来源:全球半导体观察

当半导体工艺制程发展到22纳米时,为了满足性能、成本和功耗要求,延伸发展出来FinFET和FD-SOI两种技术。由于半导体龙头厂商英特尔主导推广FinFET技术,并得到晶圆代工大厂台积电的支持,使得FinFET技术大行其道。

不过,最近几年SOI制程工艺越来越受业界关注,其技术优势和应用前景也越发地被看好。格芯、三星、索尼、意法、芯原微电子等产业厂商在SOI技术上的投入越来越大。

日前,由SOI国际产业联盟主办,南京江北新区承办,南京集成电路产业服务中心(ICisC)协办的2017 SOI国际产业联盟高峰论坛在南京召开,为SOI在全球及中国市场的推广再添一把火。

据悉,该论坛系首次登陆南京,国际SOI产业联盟主席Carlos Mazure、联合执行总裁Giorgio Cesana以及联盟相关董事悉数出席,并邀请了三星、格芯、意法、恩智浦、Synopsys、Cadence、Soitec等产业链国际知名企业高管、技术专家以及中国SOI设计、制造、IP等相关业者,高等院校学者等200余人参加,对全球SOI技术与产业趋势进行了深入的交流与探讨。

FD-SOI到底是什么?

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FD-SOI(Fully Depleted-Silicon-On-Insulator,薄膜全耗尽绝缘衬底上的硅),就是硅晶体管结构在绝缘体之上的意思,原理就是在硅晶体管之间,加入绝缘体物质,使两者之间的寄生电容大幅度降低。

此前,国内半导体产业专家莫大康曾撰文指出,与体硅材料相比,FD-SOI具有如下优点:1、减小了寄生电容,提高了运行速度;2、由于减少了寄生电容,降低了漏电,具有更低的功耗;3、消除了闩锁效应;4、抑制了衬底的脉冲电流干扰,减少了软错误的发生;5、与现有硅工艺兼容,还可减少工序。

FD-SOI产业生态逐步完善

FD-SOI作为和FinFET同时起步的技术,本身具备性能和成本等方面的优势,然而此前一直没有形成完整的产业生态,所以应用范围相对较窄。

不过,随着参与的厂商越来越多,FD-SOI生态系统已经在逐渐成形,在本次高峰论坛上,恩智浦、意法、Greenwaves、三星、格芯、Cadence、Soitec等厂商都展示和阐述了各自在FD-SOI领域的布局和相应的技术与产品。

事实上,以SOI技术为支撑的相关产品在智能手机、Wi-Fi等无线通讯、3G/4G手机用的射频器件等领域得到广泛应用。

可以说,围绕FD-SOI,已经形成了工艺研究、晶圆制造、IP、代工厂、IC设计服务公司、IC设计公司的完整产业链。

在本次论坛上,SOI产业联盟联合执行总裁Giorgio Cesana认为,通过设备厂商、SOI基板厂商、硅技术平台、制造厂商、EDA厂商、IP厂商各环节的努力,以SOI为基础的各类应用平台已经搭建,全球SOI工艺生态系统已经初步建成。

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Source:SOI南京会议

Soitec副总Stephen Lin更是表示,Soitec的FD-SOI晶圆产能将从10万片每年增加至40万片。SOI正在成为跨越不同应用和市场的主流解决方案,SOI生态系统已经达到了大众市场要求的成熟水平。

国内应用厂商增加 南京寻找机会

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此前,莫大康认为,中国半导体业处在一个特殊的环境中,为了自强自立,显然也需要发展SOI技术,这一点是无疑的。尤其是在赶超国外同行的过程中,FD-SOI技术可能是最为靠谱的技术之一。不过,中国半导体业要涉足FD-SOI,必须要经过晶圆自制、成本降低、代工厂加工等环节。

可喜的是,在本次论坛上,我们也看到诸如南京国博电子等厂商开始增加SOI技术在自身产品中的应用,再加上一些外资厂商如格芯、恩智浦等都在中国布局SOI制造和相关应用,SOI产业链在国内也在逐步完善。此外,消息显示,国内的中芯国际、华虹宏力都己具备SOI代工能力。

近年来,南京积极推进集成电路产业发展,致力于打造成为中国的芯片之城,作为江苏省暨南京市集成电路产业基地,南京江北新区以集成电路作为主导产业,正在努力建设完善包括芯片设计、晶圆制造、封装测试、终端制造在内的完整产业链。

在此过程中,南京引进了台积电、紫光、展讯、华大九天等国内外重要厂商,积极配套,打造完整产业生态。

南京江北新区本次引进SOI国际产业联盟高峰论坛,为为南京了解全球SOI产业现状、融入SOI产业链提供契机。同时,也外界了解南京集成电路产业发展状况和态势起到良好的展示作用。

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